金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法

来源：金刚石与磨料磨具工程 【在线投稿】栏目：期刊导读时间：2021-07-27

提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真。模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37 045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 593 Hz,最大位移为0.021μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 669 Hz,最大位移为0.006 4μm。随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个圆周的电容间隙均匀。