模声表面波传感器特性研究

来源：金刚石与磨料磨具工程 【在线投稿】栏目：期刊导读时间：2021-04-16

文章利用有限元软件设计出Love模声表面传感器。采用三维有限元方法模拟了声表面波在IDT/ZnO/SiO2/金刚石和IDT/AlN/SiO2/金刚石结构的传播特性。通过模态分析证明传感器激励的声表面波是乐甫波;通过对两种结构乐甫波的相速度,机电耦合系数和频率温度系数分析,设计出了两种结构的最优参数。文章创新性的将金刚石作为器件衬底,并在压电薄膜和金刚石衬底之间引入SiO2层,器件的温度特性得到了极大的改善,且伴随有高的机电耦合系数,为Love模SAW在液体高灵敏度传感器中的应用打下基础。